LSIの高集積化に伴い、現在その製造工程では高度な微細加工技術が要求されています。
そして、このような最先端のLSI製造工程にはゴミ対策が欠かせません。
旭化成ペリクルは進歩するLSI製造工程に対応できるハイクオリティー・ペリクルです。
歩留まりの向上、マスク・レチクルの寿命延長を確実に実現します。
液晶テレビを始め、大型化、高画質、高精細表示が可能となったカラーTFT(Thin-Film Transistor)液晶ディスプレイは、表示デバイスの主役として確固たる地位を築いています。
それに伴い、フォトリソグラフィ工程への要求は、ますますシビアなものとなってきています。
UPシリーズペリクルは、旭化成の高度な成膜技術により作成された“液晶大型マスク用ペリクル”です。
UPシリーズペリクルを一括露光方式に対応した大型フォトマスクに装着することにより、マスクへのパーティクル付着を防止、マスク洗浄回数の低減等マスクメンテナンスを容易にし、製造歩留まりの飛躍的な向上に貢献します。
電子機器の小型化・高機能化に伴い、プリント配線板（PWB）や実装の領域でも精細化が進み、異物対策の重要性が高まっています。
BPシリーズペリクルはそのようなニーズに応え、PWB、TAB、COF投影露光機向けに開発されたペリクルです。
BPシリーズペリクルは半導体露光機用、液晶一括露光機用ペリクルと同様、マスクメンテナンスを容易にし、製造歩留まりの飛躍的な向上に貢献します。
