特徴

低不純物性

<ベンコット>はシート製造時に添加剤・油剤・バインダー等を使用していません。溶剤使用時にも不純物の抽出が非常に少なく、拭取り対象への不純物移行が軽減できます。

動画で確認できます

ウエハ上の残留物評価

<ベンコット>は、ワイピング後の不純物移行が少ないことが確認できます。

シリコンウエハに水(0.1ml)を落とし、一定荷量で拭取った後のウエハ上残留物を比較

評価方法:
旭化成法
  • BEMCOT®
  • ニットワイパー(ポリエステル)
  • 短繊維不織布ワイパー(レーヨン+ポリエステル)
  • 紙ワイパー(パルプ)

短繊維ワイパーからは、シート化の際に添加される界面活性剤等が溶出されることがあります。
一般的なニットワイパーの素材であるポリエステルからは有機溶媒、特にアセトンを使用すると、ポリエステルの低分子物(オリゴマー)が溶出することがあります。

含有イオウ成分評価

短繊維不織布ワイパーはレーヨン素材が主体であり、
これに多く含まれるイオウ分は金属腐食の原因となる場合があります。

銅板とワイパーをシャーレに敷き、70℃・90%RHで約100時間放置後、銅板表面の状態を観察

評価方法:
旭化成法

  • ブランク
  • BEMCOT®
  • 短繊維不織布ワイパー(レーヨン100%)
  • 短繊維不織布ワイパー(レーヨン+ポリエステル)

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