高速検査装置「Fcube®」リリースのお知らせ
2011.11.16
高速検査装置「Fcube®」をリリースいたしました。
高速&高分解能で高S/N比の欠陥画像が得られ、速いラインでも高精度の欠陥検査を実現します。また多種の信号処理アルゴリズムが実行できるLSIを搭載しており複雑な地合の検査にも対応します。
- 速度&分解能の例
- ライン速度:100~150m/分、分解能:20~50μm
- ライン速度:~50m/分、分解能:10μm
- 適用分野の例
- PVバックシート
- 光学フィルム
- データ転送能力:640MHz
- 多重露光撮像方式(TDI方式)に対応