お客様導入事例

シリコンウェハの洗浄（スライス工程）

ユーテック導入の目的	すすぎ液中の洗浄剤分離
ユーテック導入の期待効果	すすぎ液の寿命延長、シリコンウェハの油再付着防止
被洗浄物	シリコンウェハ
汚れの種類	切削油
洗浄剤の種類	準水系洗浄剤
洗浄剤の使用温度	60℃
油水分離装置の型式（処理流量）	TH-30 (5L/min)

導入の流れ

※その他の洗浄用途設置フローはこちら

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