TOP > 製品紹介 > WGF™PBS

入射角に対する安定的な光学性能が検査機器の性能を向上させます

偏光ビームスプリッタ WGF™PBS

WGF™を使用した偏光ビームスプリッタ(PBS)は幅広い入射角に対しても安定した光学性能を維持します。縮小系でも色や偏光度が部分的に変わることはなく、画像検査の精度向上が期待できます。また、すでにハーフミラーをお使いの場合、WGF PBSに替えることで輝度向上が期待できます。

  • WGF™PBSなら50mm程度まで自由なサイズ展開が可能。
    引合の多い1インチサイズ品の標準製品化を検討中。
  • 機器に応じた屈折率のガラスの選択が可能。
  • 基板検査機器向けでの実績あり。
  • 4面ARなどその他の仕様もご相談ください。
WGF PBS プリズムでWGFを挟んだ構造

プリズムでWGF™を挟んだ構造

入射角に対する光学的な安定性

幅広い入射角に対する安定した光学特性
上)一般的な多層膜PBS 下)WGF™PBS

*WGF™PBSは開発品です