偏光ビームスプリッタ WGF™PBS
WGF™を使用した偏光ビームスプリッタ(PBS)は幅広い入射角に対しても安定した光学性能を維持します。縮小系でも色や偏光度が部分的に変わることはなく、画像検査の精度向上が期待できます。また、すでにハーフミラーをお使いの場合、WGF™PBSに替えることで輝度向上が期待できます。
- WGF™PBSなら50mm程度まで自由なサイズ展開が可能。
引合の多い1インチサイズ品の標準製品化を検討中。 - 機器に応じた屈折率のガラスの選択が可能。
- 基板検査機器向けでの実績あり。
- 4面ARなどその他の仕様もご相談ください。
プリズムでWGF™を挟んだ構造
幅広い入射角に対する安定した光学特性
上)一般的な多層膜PBS 下)WGF™PBS
*WGF™PBSは開発品です