2007年8月9日
各 位
旭化成エレクトロニクス株式会社
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第10世代対応大型ペリクル製造ラインの新設について
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旭化成エレクトロニクス株式会社（社長：鴻巣 誠、本社：東京都新宿区）は、第10世代液晶パネル対応の大型ペリクル製造ラインの新設を決定しましたので、お知らせいたします。 | |
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| 1.背景 |
ペリクル※1は、液晶パネルの製造工程において大型一括露光機用のフォトマスクの防塵保護膜として使用される電子材料です。液晶パネルは、携帯電話やノートＰＣ、液晶ＴＶなどに広く使われていますが、液晶ＴＶの急速な大画面化に伴い、大型液晶パネルの需要が拡大しています。同時に、大型液晶パネルを製造する上で欠かせない大型ペリクルの需要も増加しており、今後もこの傾向が続くものと考えられます。
一方当社では、1990年に独自技術により大型ペリクルを上市して以来、、現在まで実質的に世界で唯一の大型ペリクル供給メーカーとしての地位を確立しています。この度、液晶パネル用フォトマスクの次世代（第10世代）構想※2に対応するため、宮崎県延岡市において第10世代液晶パネル対応の大型ペリクル製造ラインを新設することを決定しました。
今回の新設により、今後想定される全世界における大型ペリクルの需要の増加に対し十分な製造能力を確保し、日本、韓国、台湾の各営業拠点を通じて安定的供給を果たすとともに、さらなる液晶パネルの大型化、パターンの微細化などの要望に確実に対応していく所存です。 |
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| 2．新設するラインの概要 |
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(1)立地： |
宮崎県延岡市（旭化成延岡支社岡富地区内） |
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(2)仕様： |
第10世代対応ペリクルまで対応可能 |
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(3)工期： |
2007年10月着工、2008年11月完工 |
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| ※1ペリクル |
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ペリクルは、半導体や液晶パネルの露光工程において、微細パターンが描かれたフォトマスクに塵が付着しシリコンウェハーやパネル基板に結像するのを防ぐために、フォトマスクのカバーとして使用されています。液晶パネル対応大型ペリクルについては、当社が実質的に世界で唯一の供給メーカーです。
一方半導体製造用ペリクルについては、LSI配線パターンの微細化ニーズに対応したエキシマレーザー露光用ペリクル、従来型のg線i線露光用ペリクルと、広く顧客ニーズに対応できる製品ラインアップを取り揃えています。 |
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| ※2液晶パネル用フォトマスクの次世代（第10世代）構想 |
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第10世代ガラス基板は、基板寸法2850mm×3050mmの液晶パネル。第8世代に比べ､1．6倍の大きさで、大型液晶の生産を効率化できます。 |
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| ＜ご参考＞ |
| 旭化成エレクトロニクスの概要 |
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事業内容： |
旭化成株式会社100％出資の事業会社
電子材料および電子部品の製造販売 |
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本社： |
東京都新宿区西新宿一丁目23番7号 |
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代表者： |
代表取締役社長 鴻巣 誠 |
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資本金： |
30億円 |
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売上高： |
1,121億円（2007年3月期） |
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従業員数： |
約2,600人 |
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| 以上 |
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