水処理プロセス OLTシリーズ

先端のLSI製造に不可欠な超純水製造プロセス向けに設計されたUF膜 (限外ろ過膜)です。

超純水製造に最適化した
高品質UF膜

マイクローザ®のOLTシリーズは先端LSI工場での採用実績を持ち、高精度な水質と信頼性を提供。多様な耐圧・耐熱性能で各種プロセス要件にも対応しています。

水処理プロセス OLTシリーズの詳細

水処理プロセス OLTシリーズの特長

モジュールの両端からろ過水を集水して圧損を低減し、内外両表面の緻密な膜構造で高い水質を実現するダブルスキン構造 (詳しくはこちら)。

熱殺菌純水封入により、所定条件*での長期保管が可能。 *直射日光のあたらない冷暗所

高度のクリーンネスにより、微粒子、TOC、比抵抗などは短時間で立ち上がります。

1,200 kPa (40°C)の耐圧タイプと800 kPa (80°C)の耐熱・耐圧タイプを取り揃えた豊富なラインナップ。

水処理プロセス OLTシリーズのソリューション

業界別の適用分野

電子産業：高度な不純物除去性能と安定稼働により、半導体や液晶ディスプレイの製造で使用される超純水の品質を向上 (詳しくはこちら)

用途別の適用分野

先端LSI工場における超純水製造プロセス (詳しくはこちら)。

水処理プロセス OLTシリーズの製品仕様

モジュール構造

物性表

型式		OLT-6036シリーズ
型式		OLT-6036HA	OLT-6036SA	OLT-6036VA
仕様	有効膜面積	34 m²
	モジュール長	1,177 mm
	モジュール径	172 mm		179 mm
能力	公称分画分子量	6,000
能力	ろ過水量	≧16 m³/Hr（25°C and 100 kPa）（※1）
使用条件	UF供給水温度	25°C（※2）	25°C（※2）	40～69°C	70～80°C
	最高膜内外面差圧	300 kPa	300 kPa	200 kPa	100 kPa
	最高供給水側圧力	900 kPa	1,200 kPa	900 kPa	800 kPa
	最高ろ過水側圧力	900 kPa	1,200 kPa	900 kPa	800 kPa
主要材質	中空糸膜	ポリスルフォン系
	モジュールケース	ポリスルフォン系	ポリスルフォン系＋FRP補強
	接着剤	エポキシ樹脂
	ガスケット	フッ素ゴム
※1: 25°Cにおける純水をろ過した場合の初期透水量で、設計ろ過水量ではありませんのでご注意ください。 ※2: ただし熱水殺菌時は90°Cまで。

技術情報

OLT-6036シリーズ微粒子リンスアップデータ

OLT-6036シリーズのリンス時間と微粒子数の変化を比較したデータで、0.05 µmおよび0.10 µm以上の粒子が経時的に減少する様子を示しています。リンスを続けることで最終的に両方の粒子数が安定した低レベルに到達し、クリーンな水質を得られることが確認できます。

OLT-6036シリーズTOCデータ

OLT-6036シリーズのリンス時間とTOC (総有機炭素)濃度の変化を示したデータです。初期段階ではTOCが高めですが、リンスを継続することで急激に低減し、最終的に1 ppb以下の低レベルで安定しています。OLT-6036シリーズは初期段階のTOCを短時間で引き下げつつ、長期的にも低いレベルを維持します。